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三、單槽式超聲波清洗機

OYA-1000單槽帶循環(huán)系列超聲波清洗機

簡(jiǎn)介: 適用于太陽(yáng)能電池生產(chǎn)制造設備,包括硅料酸洗、硅片脫膠、腐蝕制絨、擴散前硅片清洗、去磷硅玻璃設備,以及硅片裝片機、插片機、檢測設備等。


應用范圍:


1)主要用于單、多晶硅太陽(yáng)能電池片生產(chǎn),擴散前的絨面腐蝕和清洗;


2)工藝流程:


上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮 氣鼓泡+噴淋→下料→離心機甩干(離線(xiàn));


3)設備采用龍門(mén)式機械手方式移動(dòng),其工藝時(shí)間可以自行調節,酸堿槽具有自動(dòng)補液裝置,可實(shí)現無(wú)間斷生產(chǎn)。能顯示溫度曲線(xiàn)、濃度變化曲線(xiàn),及各個(gè)工位的工作狀態(tài)。具有設備報警說(shuō)明,報警歷史查詢(xún)功能。對清洗用純水有電阻率監測裝置,能存儲10個(gè)以上工藝方案;


4)標準工藝下產(chǎn)量:125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片,適用于投產(chǎn)厚 度為160±30~200±30微米的硅片,硅片產(chǎn)能不低于1200片/小時(shí),設備開(kāi)工率>92﹪,碎片率≤3‰。


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